腔体材质

304不锈钢 6061铝合金 可选

腔体内尺寸

127mmX57mmX20mm

腔体外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔体重量

不锈钢材质 约1.5KG     铝合金材质 约0.5KG

腔体上视窗尺寸

Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）

腔体抽气口

KF16法兰（其余接口规格可转接）

腔体真空测量口

KF16法兰（其余接口规格可转接）

腔体进气口

公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选

腔体冷却方式

腔体水冷+上盖气冷

腔体水冷接口

6mm快拧 或 6mm快插

腔体正压

≤0.05MPa

腔体真空度

机械泵≤5Pa （5分钟）  分子泵≤5E-3Pa（30分钟）

样品台

样品台材质

不锈钢  

样品台尺寸

26x26mm

样品台加热方式

电阻加热

电阻加热 液氮制冷

样品台-视窗 距离

11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm）

样品台测温传感器

PT100型热电阻

样品台温度

室温到400℃

室温到350℃   室温到-196℃

样品台测温误差

±0.5℃

样品台升温速率

高温100℃/min  值    低温7℃/min

温控仪

温度显示

7寸人机界面

温控类型

标准PID温控 +自整定

温度分辨率

0.1℃