真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。极限压力(极限真空)从粗真空到10-12Pa以上的极高真空范围。”

真空度的划分

一、液环真空泵

液环泵的原理

-------------------------------------------

液环真空泵是一种粗真空泵，是带有多叶片的转子偏心装在泵壳内。当它旋转时，把液体抛向泵壳并形成与泵壳同心的液环，液环同转子叶片形成了容积周期变化的旋转变容真空泵。

在圆形泵体（A）内，在相对于泵体中心线为偏心的轴上装有一个叶轮（B），转动的叶轮的离心作用迫使工作液通过通道（D）流向腔体周边形成环流（C），泵起作用时，被输送的气体混合物经过中间板（E）上的吸入口（H）进入叶轮，在泵入口处形成真空。气体混合物充入位于液环内径和叶轮叶片根部之间的叶轮腔内，当叶轮转动时，叶轮叶片浸没在液环中的程度增加，而使液环和叶轮叶片根部之间的容积减少，结果是气体混合物受到压缩，直至到达中间板中（K）的排放口（J），气体混合物通过排放口排出。

在压缩循环过程中，热传递到液环，为了使温度保持在工作液的蒸发点以下，必须进行冷却。通过连续不断地向液环添加冷的工作液来达到冷却的目的。添加的工作液量与经过排放口与压缩气体混合物一起排放的工作液排放量相等，气体混合物和工作液最终经过泵出口进行分离。