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真没想到真空系统真空镀膜工作原理

发布时间:2024-04-13 09:07:19 点击次数:3106 次

1、真空室

涂层设备主要有连续涂层生产线及单室涂层机两种形式,不锈钢材料制造、氩弧焊接、表面进行化学抛光处理,真空室组件上焊有各种规格的法兰接口。

2、真空获得部分

在真空技术中,真空获得部分是重要组成部分。真空的获得不是一种真空设备和方法所能达到的,必须将几种泵联合使用,如机械泵、罗茨泵、分子泵系统等。

3、真空测量部分

真空系统的真空测量部分,就是要对真空室内的压强进行测量。像真空泵一样,没有一种真空计能测量整个真空范围,人们于是按不同的原理和要求制成了许多种类的真空计。如热偶计,电离计,皮拉尼计等。

4、电源供给部分

靶电源主要有直流电源、中频电源、脉冲电源、射频电源(RF),常见的电源厂商有AE,ADL,霍廷格等。